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株式会社 エー・ピー・ピー

プロジェクトのリスト 5


縦型炉 リファブ、改造、立上、移設


1. ガス系
  1) ガスジャングル(拡散、CVD) 改造/新規
               メタルパッキング式/2圧縮リング式
  2) 外部燃焼 改造/新規 (BOX、ヒーター、酸排気)
  3) PYROヒーター 供給
  4) Trans−LC 追加改造

2. CVD
  1) 排気配管 改造/新規
  2) 真空ポンプ オーバーホール
  3) トラップ 改造/新規

3. ヒーター仕様変更 (MID-TEMPからHI-TEMP)
  1) 石英支持フランジ 交換
  2) エレベーターフランジ 交換
  3) ヒーター及びケーブル 交換
  4) ヒータートランス 交換
  5) 電源ブレーカ 交換

4. 制御系
  1) ガスフローチャート 新規制作
  2) 電源電圧変更に伴うヒータートランス 交換
  3) 対象コントローラ
      ・Model−3100
      ・Model−3200
      ・TS−4000Z
  4) POWER−BOX製作

5. 対応炉型式
  1) TEL縦型炉 IW−6、ALPHA−8 他
  2) その他 国際電気、ULVAC 等についても可能な限りサポートします。

6. 実績

























     その他、装置立ち下げ、解体、ヒーター交換作業 多数実績あり

当社工場にてリファブ、改造
客先にて立上
3台 α−801
CVD2台、拡散1台、ガス系改造、
石英部品供給、カセット変更対応、
ディスプレー交換

当社工場にてリファブ、改造
客先にて立上
1台 α−8S
拡散1台、不足部品供給、
レイアウト変更、石英図面供給、
カセット変更対応

客先にて改造 1台 α−801C
POLY−SiからTEOSに改造、
供給ユニット追加、真空排気系改造

客先工場内にて組立、
リファブ、改造、立上
10台 拡散 α−8S
電源電圧変更改造、
ガス系改造、U−BOX改造、
床下ケーブル新規敷設、
高温用改造、受電BOX製作

3台 CVD α−8S
客先工場内にて組立、
リファブ、改造、立上
7台 拡散 α−8S
電源電圧変更改造、
ガス系改造、U−BOX改造、
高温用改造、レイアウト変更

3台 CVD α−8S
客先工場にて組立、配線、
電源投入まで
4台 α−8S
不足部品、動作確認は客先担当

客先(台湾)にて改造 1台 α−8SZA
ガス系改造、高温用改造

客先にて改造 1台 α−8S
CVD(TEOS)
不足部品は客先手配

客先(台湾)にて改造 1台 α−8SZA
ガス系改造、高温用改造
PYRO増設

客先にて移設、立上げ 2台 α−8S
1階にて解体、
3階にて組立、立上

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