株式会社 エー・ピー・ピー
プロジェクトのリスト 5
縦型炉 リファブ、改造、立上、移設
1. ガス系
1) ガスジャングル(拡散、CVD) 改造/新規
メタルパッキング式/2圧縮リング式
2) 外部燃焼 改造/新規 (BOX、ヒーター、酸排気)
3) PYROヒーター 供給
4) Trans−LC 追加改造
2. CVD
1) 排気配管 改造/新規
2) 真空ポンプ オーバーホール
3) トラップ 改造/新規
3. ヒーター仕様変更 (MID-TEMPからHI-TEMP)
1) 石英支持フランジ 交換
2) エレベーターフランジ 交換
3) ヒーター及びケーブル 交換
4) ヒータートランス 交換
5) 電源ブレーカ 交換
4. 制御系
1) ガスフローチャート 新規制作
2) 電源電圧変更に伴うヒータートランス 交換
3) 対象コントローラ
・Model−3100
・Model−3200
・TS−4000Z
4) POWER−BOX製作
5. 対応炉型式
1) TEL縦型炉 IW−6、ALPHA−8 他
2) その他 国際電気、ULVAC 等についても可能な限りサポートします。
6. 実績
その他、装置立ち下げ、解体、ヒーター交換作業 多数実績あり
当社工場にてリファブ、改造 客先にて立上 |
3台 | α−801 | CVD2台、拡散1台、ガス系改造、 石英部品供給、カセット変更対応、 ディスプレー交換 |
当社工場にてリファブ、改造 客先にて立上 |
1台 | α−8S | 拡散1台、不足部品供給、 レイアウト変更、石英図面供給、 カセット変更対応 |
客先にて改造 | 1台 | α−801C | POLY−SiからTEOSに改造、 供給ユニット追加、真空排気系改造 |
客先工場内にて組立、 リファブ、改造、立上 |
10台 拡散 | α−8S | 電源電圧変更改造、 ガス系改造、U−BOX改造、 床下ケーブル新規敷設、 高温用改造、受電BOX製作 |
3台 CVD | α−8S | ||
客先工場内にて組立、 リファブ、改造、立上 |
7台 拡散 | α−8S | 電源電圧変更改造、 ガス系改造、U−BOX改造、 高温用改造、レイアウト変更 |
3台 CVD | α−8S | ||
客先工場にて組立、配線、 電源投入まで |
4台 | α−8S | 不足部品、動作確認は客先担当 |
客先(台湾)にて改造 | 1台 | α−8SZA | ガス系改造、高温用改造 |
客先にて改造 | 1台 | α−8S | CVD(TEOS) 不足部品は客先手配 |
客先(台湾)にて改造 | 1台 | α−8SZA | ガス系改造、高温用改造 PYRO増設 |
客先にて移設、立上げ | 2台 | α−8S | 1階にて解体、 3階にて組立、立上 |