1. ガス系
1) ガスジャングル(拡散、CVD) 改造/新規
メタルパッキング式/2圧縮リング式
2) 内部・外部燃焼 改造/新規
3) PYROヒーター 供給
4) POCL3 追加改造
2. 搬送系
1) ボートローダー 追加/改造
2) カンチレバー 追加/改造
3) ソフトランディング 追加/改造
4) オートシャッター 追加/改造
5) オートドアー 追加/改造
6) CVDドアー 追加/改造
3. 拡散炉
1) ヒーター 交換/改造
2) 断熱材 交換
4. ワーキングステーション
1) ダウンフロー、ホリゾンタルフロー 新規制作
2) スキャベンジャー 交換/新規
5. 制御系
1) TEL製コントローラ 修理(立上期間内のみ対応)
8816S、8816D、8832、2200、2400、3100、3200
2) 代替コントローラ
・PYROインターロック (当社製)
・BM−2002 (当社製 CP−800対応)
3) 電源電圧変更に伴うヒータートランス 交換
4) 各種インターロック 追加
6. T−BAWL
1) 改造/オーバーホール
2) 新規制作
7. 対応炉型式
1) TEL横型炉 XL、DL、UX,ED,UL,BL 他
2) その他 国際電気、ULVAC 等についても可能な限りサポートします。
株式会社 エー・ピー・ピー
プロジェクトのリスト 1
横型炉 リファブ、改造、立上、移設