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1. ガス系
  1) ガスジャングル(拡散、CVD) 改造/新規
               メタルパッキング式/2圧縮リング式
  2) 内部・外部燃焼 改造/新規
  3) PYROヒーター 供給
  4) POCL3 追加改造

2. 搬送系
  1) ボートローダー 追加/改造
  2) カンチレバー 追加/改造
  3) ソフトランディング 追加/改造
  4) オートシャッター 追加/改造
  5) オートドアー 追加/改造
  6) CVDドアー 追加/改造

3. 拡散炉
  1) ヒーター 交換/改造
  2) 断熱材 交換

4. ワーキングステーション
  1) ダウンフロー、ホリゾンタルフロー 新規制作
  2) スキャベンジャー 交換/新規

5. 制御系
  1) TEL製コントローラ 修理(立上期間内のみ対応)
      8816S、8816D、8832、2200、2400、3100、3200
  2) 代替コントローラ
      ・PYROインターロック (当社製)
      ・BM−2002 (当社製 CP−800対応)
  3) 電源電圧変更に伴うヒータートランス 交換
  4) 各種インターロック 追加

6. T−BAWL
  1) 改造/オーバーホール
  2) 新規制作

7. 対応炉型式
  1) TEL横型炉 XL、DL、UX,ED,UL,BL 他
  2) その他 国際電気、ULVAC 等についても可能な限りサポートします。

株式会社 エー・ピー・ピー

プロジェクトのリスト 1


横型炉 リファブ、改造、立上、移設


プロジェクトのリスト 8